林苯坚道:“我还在实验室的研究发现,想要完善浸润式光刻,就是要克服液体中微气泡的形成。还必须要开拓在热力学极限下,经由水而衍射的光刻工序。”
张中谋赫然动容道:“如果你的这个设想全部解决,那么在科学和工程上,就证实了湿式光刻方法可用于最先进的IC制程,可以将IC技术节点从65nm持续降低,打破65nm的技术壁障。”
“对,这样摩尔定律又可以生效了。至少可以再持续延伸了五代以上。”林苯坚信心满满地道。
“哈哈,好哇!”
张中谋大笑,“就是要你的这种底气,你来看看这份资料。”
他指着中芯突破90nm技术的资料给林苯坚看,“如果技术停滞,后来者就很容易追上来。为了保持我们的技术领先,我决定马上研发湿法光刻技术。由你牵头负责成立技术团队,争取一年内出成果。咱们积电不发威,什么内地小公司都敢追上来了。”
林苯坚临危受命却大喜,他立正道:“保证完成任务。”
“不过……”林苯坚又道:“光刻机霸主——东洋佳能和尼康十分抵制我的这个方案,我们找哪家公司一起研发湿法光刻机呢?”
“那里……”
张中谋又指了指手中的资料,林苯坚低头看去,“荷兰小厂阿斯麦?”
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